| 发明名称 | 一种电致发光测试电极的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电致发光测试电极的制作方法，包括：挑选大小均一的铟粒，在外延片上使用固定压力进行定力按压铟粒，重复对铟粒依次进行加热、冷却、定力按压多次，使铟粒和外延片之间的电阻达到稳定；本发明的优点在于：制作方法简单，使用方便，通过对铟粒重复进行加热、冷却、定力按压多次，从而测试的重复性大大提高，测试的重复性标准差能够控制在4％以内，得到了更加可靠稳定的光电测试结果。 | ||
| 申请公布号 | CN102520221A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201110431950.6 | 申请日期 | 2011.12.21 |
| 申请人 | 中微光电子（潍坊）有限公司 | 发明人 | 孙德亮;刘凯 |
| 分类号 | G01R3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 李江 |
| 主权项 | 一种电致发光测试电极的制作方法，包括以下步骤：（1）挑选大小均一的铟粒；（2）在外延片上使用固定压力进行定力按压铟粒；（3）对铟粒依次进行350‑400℃加热1‑3分钟、冷却0.5‑2分钟、定力按压2‑8秒，重复循环2‑10次，使铟粒和外延片之间的电阻达到稳定。 | ||
| 地址 | 261061 山东省潍坊市高新区玉清东街13155号 | ||