柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器及制作方法

摘要

本发明一种柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器及制作方法，属于传感器技术领域，涉及一种柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器及制作方法。制作方法是用液体双组份有机硅胶制成具有弧面的柔性硅胶基底，在柔性硅胶基底的弧面上粘覆聚偏氟乙烯压电薄膜，在聚偏氟乙烯压电薄膜的上下表面覆盖保护层，作为上绝缘保护层和下绝缘保护层，制成柔性弧面聚偏氟乙烯传感器。本发明的压电薄膜传感器结构紧凑，通过采用弧面、全柔性基底结构来放大压电薄膜层的应力和应变，提高传感器的输出电压和提高传感器的灵敏度。本发明的传感器可应用于脉搏测量、微弱振动、微力检测等领域。

主权项

一种柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器的制作方法，其特征是，用液体双组份有机硅胶制成具有弧面的柔性硅胶基底(1)，在柔性硅胶基底(1)的弧面上粘覆聚偏氟乙烯压电薄膜(4)，在聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的上下表面覆盖保护层，作为上绝缘保护层(6)和下绝缘保护层(2)，制成柔性弧面聚偏氟乙烯传感器(15)；具体制作步骤如下：第一步制作硅胶柔性基底(1)(1)按照灵敏度要求计算模具的曲率半径(R)，用不锈钢或塑料制作模具，模具为圆柱体或扇形体，用玻璃板托住模具底部；(2)液体双组份有机硅胶是由有机硅胶A组份和有机硅胶B组份组成，将液体有机硅胶A组份搅拌均匀，将有机硅胶B组份在包装内摇匀，将A组份和B组份根据配比要求混合，充分搅拌均匀，将混合液体有机硅胶灌填到模具中，灌填高度比聚偏氟乙烯压电薄膜4的宽度大1mm；(3)液体双组份有机硅胶混合胶体在模具中凝胶6个小时后，在50℃条件下加温2个小时，凝固成型后脱模，按所需弦长和弧高切割形成柔性基底(1)；第二步制作柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器(1)按所需尺寸和性能参数裁剪聚偏氟乙烯压电薄膜(4)，聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的上、下表面分别蒸镀上表面电极(5)和下表面电极(3)，铜质上电极贴片(13)压贴在上表面电极(5)的端部，铜质下电极贴片(11)压贴在下表面电极(3)的端部，然后全部用下绝缘防护层(2)和上绝缘防护层(6)包覆密封，用上电极铆钉(7)在上表面电极(5)的端部位置将上电极贴片(13)与上电极压线端子(12)铆合，用下电极铆钉(8)在下表面电极(3)的端部位置将下电极贴片(11)与下电极压线端子(10)铆合，上电极引线(14)焊接在上电极压线端子(12)，下电极引线(9)焊接在下电极压线端子(10)；(2)用酒精清洗下绝缘防护层(2)和柔性基底(1)的弧形表面，将绝缘防护好的聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的拉伸方向沿弧长方向放置在柔性基底(1)的弧面上，用502快干胶将二者平整紧密地粘合在一起，完成柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器(15)的制作。