发明名称 | 一种芯片垂直互联方法 | ||
摘要 | 本发明是涉及一种芯片垂直互联方法,其将发射器件和接收器件固定于芯片上;将电信号传导至芯片一侧的发射器件上,由发射器件将电信号转化为光信号;光信号透过芯片传输至芯片另一侧的接收器件,由芯片上接收器件将接收到的光信号转化为电信号,透过芯片的无通孔光垂直互联,实现芯片间信号传输。本发明不用在芯片间制作通孔,从而避免了通孔、填孔、金属化的工艺流程,减少芯片制作步骤,不破坏芯片的完整性,提升芯片可靠性。其工艺简单,加工容易,制作成本低。 | ||
申请公布号 | CN102522455A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
申请号 | CN201110422024.2 | 申请日期 | 2011.12.16 |
申请人 | 哈尔滨工业大学(威海) | 发明人 | 李焕然;王春青;张威 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 威海科星专利事务所 37202 | 代理人 | 王元生 |
主权项 | 一种芯片垂直互联方法,其特征是:其首先选取发射器件和接收器件,将发射器件和接收器件固定于芯片上;将电信号传导至芯片一侧的发射器件上,由发射器件将电信号转化为光信号;光信号透过芯片传输至芯片另一侧的接收器件,由芯片上接收器件将接收到的光信号转化为电信号,透过芯片的光垂直互联,实现芯片间信号传输。 | ||
地址 | 264200 山东省威海市高区文化西路2号 |