一种MEMS加速度开关

摘要

本发明提供了一种MEMS加速度开关，由衬底（5）、硅框架（8）、弧形悬臂梁（1）、环形质量块（2）、碰撞柱（3）、环形接触电极（4）和硅盖帽（7）组成。硅框架固定在衬底上，中心设有圆孔；碰撞柱位于硅框架中心，固定在衬底上；硅框架圆孔上均布一组悬空的弧形悬臂梁，弧形悬臂梁的端部与环形质量块连接；环形质量块与碰撞柱同心并具有一定的间隙；环形接触电极位于环形质量块下方并固定在衬底上。本发明采用环形碰撞结构，可以实现平面任意方向及垂直水平面方向等多个方向上信号检测，同时采用环形结构设计，提高了开关的抗高冲击能力。本发明具有结构精巧、加工工艺简单、便于批量制作等特点。

主权项

一种MEMS加速度开关，其特征在于由衬底（5）、硅框架（8）、一组悬臂梁（1）、环形质量块（2）、碰撞柱（3）、环形接触电极（4）和盖帽（7）组成；硅框架（8）中心设有圆孔、并通过MEMS工艺固定在衬底（5）上；每个悬臂梁（1）的一端连接在硅框架圆孔的内侧并处于悬空状态；每个悬臂梁（1）的另一端连接于环形质量块（2）上，使环形质量块（2）悬空在衬底（5）上，并处于硅框架圆孔中；碰撞柱（3）固定在硅框架中心的衬底（5）上，碰撞柱（3）和环形质量块（2）同圆心、并具有3微米～20微米的环形间隙；环形接触电极（4）固定在环形质量块（2）下方的衬底上、和环形质量块在有一定间隙；在硅框架（8）上及碰撞柱（3）设有引出电极（6），盖帽（7）把一组悬臂梁和环形质量块封闭起来，盖帽上设有引出电极（6）的引出孔。