发明名称 深度亚波长表面等离子体激元微腔激光器
摘要 深度亚波长表面等离子体激元微腔激光器由深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1),双输出端直波导(2)和金属薄膜衬底(3)构成;其位置关系为深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)与双输出端直波导(2)横向耦合,并且,深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)与双输出端直波导(2)制备在金属薄膜衬底(3)之上,泵浦光源(4)垂直于深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)的端面进入。本发明采用纳米尺度表面等离子波导器件实现超小光斑激光器,使光子元件和电子元件二者结合统一集成在纳米尺度的芯片中成为可能,为纳米集成芯片的实现提供了新型激光光源-深度亚波长表面等离子体回音壁模式激光。具有输出光斑小,强度大,工艺简单等优点。
申请公布号 CN102148476B 申请公布日期 2012.06.27
申请号 CN201110054697.7 申请日期 2011.03.08
申请人 东南大学 发明人 张彤;雷威;屈蓓蓓;张晓阳
分类号 H01S5/10(2006.01)I;H01S5/32(2006.01)I;H01S5/04(2006.01)I 主分类号 H01S5/10(2006.01)I
代理机构 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人 汤志武
主权项 一种深度亚波长表面等离子体激元微腔激光器,其特征在于:该激光器由深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1),双输出端直波导(2)和金属薄膜衬底(3)构成;该激光器位置关系为深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)与双输出端直波导(2)横向耦合,并且,深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)与双输出端直波导(2)制备在金属薄膜衬底(3)之上,泵浦光源(4)垂直于深度亚波长表面等离子体激元谐振腔(1)的端面进入。
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