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发明名称
摘要
申请公布号 JP4961701(B2) 申请公布日期 2012.06.27
申请号 JP20050266557 申请日期 2005.09.14
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H01J9/02;H01J11/12;H01J11/22;H01J11/24;H01J11/26;H01J11/34;H01J11/40 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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