| 发明名称 |
Novel barium precursors for vapor phase deposition of thin films |
| 摘要 |
A barium source precursor (I), comprising a diazacrown ligand, selected in the list:
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(H 2 )C(H 2 )-O-C(H 2 )C(H 2 )-O-C(H 2 )C(H 2 )-] 2
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(HMe)C(HMe)-O-C(HMe)C(HMe)-O-C(HMe)C(HMe)-] 2
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(Me 2 )C(Me 2 )-O-C(Me 2 )C(Me 2 )-O-C(Me 2 )C(Me 2 )-] 2
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(HMe)C(H 2 )-O-C(HMe)C(H 2 )-O-C(HMe)C(H 2 )-] 2
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(Me 2 )C(HMe)-O-C(Me 2 )C(HMe)-O-C(Me 2 )C(HMe)-] 2
€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ€ƒ Ba[-N-C(Me 2 )C(H 2 )-O-C(Me 2 )C(H 2 )-O-C(Me 2 )C(H 2 )-] 2 .
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| 申请公布号 |
EP2468755(A1) |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
| 申请号 |
EP20100306366 |
申请日期 |
2010.12.07 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
LACHAUD, CHRISTOPHE;LAHOOTUN, VANINA;ZAUNER, ANDREAS |
| 分类号 |
C07F3/00 |
主分类号 |
C07F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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