粒子光学系统和排布结构,以及用于其的粒子光学组件

摘要

一种粒子光学排布结构，其包括：用于生成带电粒子束的带电粒子源；布置在带电粒子束的束路径中的多孔板，其中，该多孔板具有按预定的第一阵列图案形成在其中的多个孔，其中，在多孔板的下游从带电粒子束形成了多个带电粒子分束，并且其中，所述多个分束在该装置的像面中形成了多个束斑，所述多个束斑按第二阵列图案排列；以及用于操纵带电粒子束和/或多个分束的粒子光学元件；其中，第一阵列图案在第一方向上具有第一图案规则度，而第二阵列图案在与第一方向电子光学地对应的第二方向上具有第二图案规则度，并且其中，第二规则度比第一规则度要大。

主权项

一种粒子光学排布结构，其包括：至少一个带电粒子源，用于生成至少一束带电粒子；和至少一块多孔板，布置在所述至少一束带电粒子的束路径中，其中所述至少一块多孔板具有按预定的第一阵列图案形成在其中的多个孔，其中在所述至少一块多孔板的下游从所述至少一束带电粒子形成了多个带电粒子分束，并且其中所述多个带电粒子分束在粒子光学排布结构的像面中形成了多个束斑，所述多个束斑按第二阵列图案排列；其中，第一阵列图案在第一方向上具有至少一个第一图案规则度，而第二阵列图案在与第一方向相对应的第二方向上具有至少一个第二图案规则度，并且其中第二图案规则度比第一图案规则度要高，其中，所述图案规则度是通过傅里叶分析来确定的。