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发明名称 СПОСОБ СОЗДАНИЯ ТЕСТОВЫХ МОП-СТРУКТУР
摘要
申请公布号 RU1338720(C) 申请公布日期 2012.06.27
申请号 SU19864013579 申请日期 1986.01.10
申请人 Физико-технический институт АН БССР 发明人 Румак Н.В.;Хатько В.В.;Плотников В.Н.
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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