| 发明名称 | 安装方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种安装方法，将被安装物安装到基板上，其包括：将所述基板载置到工作台上的工序；将所述基板上的应该安装所述被安装物的区域选择性地加热到比其周边部分高的温度，同时将所述被安装物安装到所述基板上的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN102522359A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201210001133.1 | 申请日期 | 2009.06.02 |
| 申请人 | 阿德威尔斯股份有限公司;尔必达存储器股份有限公司 | 发明人 | 中居诚也;樱田伸一 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 刘建 |
| 主权项 | 一种安装方法，将被安装物安装到基板上，其特征在于，包括：将所述基板载置到工作台上的工序；将所述基板上的应该安装所述被安装物的区域选择性地加热到比其周边部分高的温度，同时将所述被安装物安装到所述基板上的工序。 | ||
| 地址 | 日本国福冈县 | ||