用于检测机台的温度调控系统

摘要

一种用于检测机台的温度调控系统，包括一测试座、一具有热交换器及致冷芯片的加压装置、一具有温度感测器的测试头，该测试头配置在加压装置前端，于至少一待测元件置放于该测试座时，通过加压装置下压，使测试头对该待测元件之一迫紧，以使该温度感测器侦测待测元件的表面温度得到一温度信号，并再将该温度信号回馈至一控制处理单元进行运算处理以产生一线性控制信号，使输入致冷芯片的电流在该线性控制信号之下，由致冷芯片的吸热与放热将该待测元件温度控制于一设定范围内。本发明可依据回馈的系统实际温度与目标温度差异进行控制，快速且稳定的维持于目标温度范围内。可提供稳定的线性控制信号输出，减少致冷芯片不断开关所产生的冲击。

主权项

一种用于检测机台的温度调控系统，包括一测试座、一具有热交换器及致冷芯片的加压装置、一具有温度感测器的测试头，该测试头配置在加压装置前端，至少一待测元件置放于该测试座时，通过该加压装置下压，使测试头对该待测元件之一迫紧；其特征在于：于该测试头对该待测元件之一迫紧时，通过该温度感测器侦测待测元件的表面温度得到一温度信号，将该温度信号回馈至一控制处理单元进行运算处理以产生一线性控制信号，使输入致冷芯片的电流在该线性控制信号之下，由致冷芯片的吸热与放热将该待测元件温度控制于一设定范围内。