发光二极管的制作方法

摘要

本发明公开了一种发光器件制作方法。发光二极管的制作方法，包括如下步骤：提供一蓝宝石生长衬底，在其正面上形成发光外延结构,其由下而上包含第二半导体层,有源层以及第一半导体层；对所述生长衬底进行减薄抛光，在其背面上形成第一保护层；在前述生长衬底背面进行激光图案划痕；在发光外延结构的外表面上形成第二保护层；对生长衬底进行湿法蚀刻，形成图案结构；去除第一及第二保护层；在第一半导体层上形成第一电极，在第二半导体层上形成第二电极；提供一支撑基板，将第一电极与第二电极采用覆晶封装于支撑基板上,完成发光二级管的制程。

主权项

发光二极管的制作方法，包括如下步骤：提供一蓝宝石生长衬底，在其正面上形成发光外延结构, 其由下而上包含第二半导体层, 有源层以及第一半导体层；对所述生长衬底进行减薄抛光，在其背面上形成第一保护层； 在前述生长衬底背面进行激光图案划痕；在发光外延结构的外表面上形成第二保护层；对生长衬底进行湿法蚀刻，形成图案结构；去除第一及第二保护层；在第一半导体层上形成第一电极，在第二半导体层上形成第二电极；提供一支撑基板，将第一电极与第二电极采用覆晶封装于支撑基板上, 完成发光二级管的制程。