化学气相沉积法结合热喷镀法制造高性能纳米导电玻璃

摘要

本发明公开了化学报称心如气相沉积法结合热喷镀法制造高性能纳米导电玻璃，是将洗净并干燥的玻璃片上经化学气相沉积制作成含二氧化锡，硅和氟的透明导电膜，在该薄膜上面再经热喷镀制作含氟的ITO透明导电膜，最后生成与其基材结合牢固、高导电、高透光率的功能薄膜；制作的导电玻璃可用于平面显示(液晶、等离子、OLED)、太阳能光伏电池板以及EL、OLED面发光等高科技领域，有着广泛的应用范围和极好的发展前景。

主权项

化学气相沉积法结合热喷镀法制造高性能导电玻璃，其特征在于将洗净干燥的玻璃片(5)置下有加热器(19)的传送带(18)上，经喷射喷嘴I(4)喷入雾状的含SnCI4，F，Sir物质，经400℃～600℃的热化学反应，在玻璃片(5)上生成含SnO2、F、Si的透明导电膜(16)，再经喷射嘴II(12)喷上雾状的含纳米ITO和少量F的物质，经400℃～500℃的蒸镀，在带有透明导电薄膜(16)的玻璃片(5)上生成含纳米ITO和F的透明导电薄膜(17)，经褪火即为成品。