| 发明名称 | 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法 | ||
| 摘要 | 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法包括：制成一个长行程绝缘单作用式气缸，低能电源一端与低能注入模式切换器相连，活塞与切换器另一端用钢丝连接，利用活塞控制电路导通或断开，从而达到切换低能注入模式的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN102522302A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201010243467.0 | 申请日期 | 2010.08.02 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 唐景庭;伍三忠;孙勇;李涛 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/302(2006.01)I;H01J37/30(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种低能注入模式切换器的制造方法，所述低能注入模式切换器利用气动控制电路开关，其特征在于：控制器外壳由绝缘材料制作，内部为金属导体材料，通过气动导通或断开电路。 | ||
| 地址 | 101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街六号 | ||