蒸气放出装置、有机薄膜蒸镀装置及有机薄膜蒸镀方法

摘要

提供一种有机材料蒸镀技术，该有机材料蒸镀技术能够提升蒸发材料的使用效率，并且，防止蒸发材料的经时劣化，而且，可靠地防止由蒸镀时的热导致的掩模的变形。本发明的有机材料用蒸发源，具有：喷淋板型的放出部(11)，在面内排列有多个放出口(12)；供给管(14)，设在放出部(11)内，经由喷出口(15)而向着放出部(11)的底部(11a)放出被导入的有机蒸发材料的蒸气并供给至放出部(11)内；以及冷却装置(17)，至少设在放出部(11)的放出口(12)侧的部位。冷却装置(17)，例如以将放出部(11)整体地覆盖的方式形成，在与放出部(11)的放出口(12)相对应的部位，具有使该有机蒸发材料的蒸气通过的蒸气通过孔(17a)。

主权项

一种蒸气放出装置，具有：喷淋板型的放出部，在面内排列有用于放出有机蒸发材料的蒸气的多个放出口，并构成为能够加热；供给部，设在所述放出部内，将有机蒸发材料的蒸气供给至该放出部内，具有构成为对所述放出部的内壁吹出所述有机蒸发材料的蒸气的喷出口；以及冷却装置，以将所述放出部整体地覆盖的方式形成。