一种梯度温度生长柔性衬底绒面结构ZnO薄膜

摘要

一种梯度温度生长柔性衬底绒面结构ZnO薄膜，采用MOCVD技术镀膜，以PET或PEN为柔性衬底，以二乙基锌和水为源材料，以氢稀释硼烷作为掺杂气体，生长B掺杂ZnO透明导电薄膜，镀膜过程中采用梯度温度生长技术，即先在120-130℃下在衬底上生长ZnO薄膜，然后在135-155℃下生长绒面ZnO薄膜。本发明的优点是：梯度温度生长技术改善PET或PEN衬底与ZnO薄膜之间的界面特性；衬底PET和PEN材料价格低廉且具有高透过率特性，便于大面积生产推广；获得ZnO薄膜可直接形成绒面结构，有利于光散射；该薄膜材料应用于PIN型a-Si薄膜太阳电池，光电转换效率高。

主权项

一种梯度温度生长柔性衬底绒面结构ZnO薄膜，其特征在于：采用金属有机化学气相沉积技术镀膜，以聚乙烯对苯二甲酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)为柔性衬底，衬底温度120～160℃，以纯度为99.995％的二乙基锌(DEZn)和水为源材料，以氢稀释浓度为1％的硼烷B2H6作为掺杂气体，掺杂气体流量百分比含量为0.1％‑1％，生长B掺杂ZnO透明导电薄膜，镀膜过程中采用梯度温度生长技术，即第一步在温度为120‑130℃条件下在衬底上生长ZnO薄膜，然后第二步在温度为135‑155℃条件下在上述ZnO薄膜上生长绒面ZnO薄膜，即ZnO薄膜结构为柔性衬底/低温生长ZnO薄膜/正常温度生长绒面ZnO薄膜；ZnO薄膜总厚度为800～1500nm，镀膜反应压力为50Pa～600Pa。