光刻套刻精度的测试图形及测量方法

摘要

本发明公开了一种光刻套刻精度的测试图形，是由多个长条组成的矩形图形；各个长条内部由多个小矩形构成。本发明还公开了一种光刻套刻精度的测量方法，包括如下步骤：利用激光扫描；探测衍射光。本发明采用衍射原理测量图形，和普通的测量图形相比，衍射光的分布只和整个图形的空间周期相关，而强度与图形的反射率、图形形状、台阶深度、探测光波长等相关。通过使用不同波长的激光进行扫描，可以降低测量信号强度和测量图形制造工艺的相关性，最终提高测量对测量图形的物理特征容忍度。

主权项

一种光刻套刻精度的测试图形，其被对准层的测试图形是由多个长条组成的矩形图形；其特征在于，所述的各个长条内部由多个小矩形构成，各所述小矩形的排列结构使各所述长条分别形成衍射光栅。