用于离子注入系统的混合型磁性/静电偏转器

摘要

披露一种用于离子束的磁性偏转器，所述磁性偏转器包含第一与第二线圈。分别将线圈定位于射束的上方与下方，并且沿着射束的宽度进行延伸。电流通过线圈，用以在其间产生沿着大体上射束整个宽度而大致垂直于射束行进方向的磁场。在本发明的另一个方面中，披露一种在注入工件之前用来偏转射束的方法。该方法包含判断与射束相关联的一个或者多个特性，并且基于判断而有所选择地致动磁性偏转模组与静电偏转模组中的一种。

主权项

一种用于离子束的磁性偏转器，包含一对由第一线圈与第二线圈所构成的线圈，其中分别将第一线圈设置在射束的上方以及将第二线圈设置在射束的下方，且第一与第二线圈两者均沿射束的宽度而延伸，此外电流以相同的方向通过第一与第二线圈，由此在线圈之间感应出磁场，所述磁场大体上沿着射束的整个宽度而大致垂直于射束的行进方向，其中设置第一与第二线圈的位置，用以形成输入端以及输出端，其中输出端位于输入端的下游，并且其中输出端大于输入端。