| 发明名称 | 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明，可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。 | ||
| 申请公布号 | CN102520561A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201110431555.8 | 申请日期 | 2011.12.21 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 郑婉华;马传龙;范学东;马绍栋;齐爱谊 |
| 分类号 | G02F1/355(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/355(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，其特征在于，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||