| 发明名称 | 用于容纳微机械系统的装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于容纳微机械系统(100)的装置，包括：具有表面(104)的衬底(102)，微机械系统(100)形成在衬底(102)的表面(104)上；透明盖(110)；和干膜层布置(120)，所述干膜层布置(120)位于衬底(102)的表面(104)与透明盖(110)之间。所述干膜层布置(120)包括开口(130)，从而使得微机械系统(100)邻近开口。 | ||
| 申请公布号 | CN101234746B | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN200810002282.3 | 申请日期 | 2008.01.08 |
| 申请人 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 发明人 | 索·巴克;蒂洛·桑德 |
| 分类号 | B81C3/00(2006.01)I;H01L23/02(2006.01)I;H01L23/06(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | B81C3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王新华 |
| 主权项 | 一种用于容纳微机械系统(100)的装置，包括：具有表面(104)的衬底(102)，微机械系统(100)形成在衬底(102)的表面(104)上；透明盖(110)；和干膜层布置(120)，所述干膜层布置(120)位于所述微机械系统(100)与透明盖(110)之间，所述干膜层布置(120)包括聚合物材料，其中所述干膜层布置(120)包括开口，从而使得微机械系统(100)邻近开口。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||