发明名称 |
基于暴露材料的渐进腐蚀的湿度传感器 |
摘要 |
本发明提供了一种感测例如湿度之类的环境特征的传感器。所述传感器具有带有条带的衬底,所述条带由对因所述特征导致的腐蚀敏感的材料制成。所述条带被配置为对所述特征进行不同的响应。通过重复测量所述条带的电阻,可以在对所述特征的累积暴露方面监控所述环境。所述条带以半导体技术制造,从而产生行为可预测的精确传感器。 |
申请公布号 |
CN101842689B |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
申请号 |
CN200880101262.X |
申请日期 |
2008.07.30 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
奥瑞利·休伯特;尤里·维克多诺维奇·波诺马廖夫;马蒂亚斯·梅兹;罗曼诺·胡夫曼 |
分类号 |
G01N17/04(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I |
主分类号 |
G01N17/04(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
一种包括传感器(200、500、600、700)的器件,所述传感器用于感测传感器的环境特征,其中:所述传感器具有带有条带(202)的衬底(212),所述条带(202)由对因所述特征导致的腐蚀敏感的材料制成;所述条带被布置在用于测量所述条带的阻抗的两个触点之间;所述传感器包括至少另一条带(204、206、208、210),所述至少另一条带(204、206、208、210)由对腐蚀敏感的另一种材料制成,并被布置在用于测量所述另一条带的阻抗的两个其他触点之间;所述条带和所述另一条带被配置为具有对所述特征进行不同响应的阻抗。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |