绘图装置及绘图方法

摘要

本发明之一种态様的绘图装置之特征系具备：选择部，其系输入藉由发射复数电子射束所绘制之图案的图案资料，按照所输入之图案资料，选择发射之上述电子射束的电流密度与发射之最大发射尺寸；及绘图部，其系以由选择部所选择之电流密度形成电子射束，将形成之电子射束在每个发射成形为最大发射尺寸以下的发射尺寸，将所成形之电子射束对试料发射，绘制上述图案。