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发明名称
减压处理装置,减压处理方法及压力调整阀
摘要
本发明之目的在于提供一减压处理装置,其系于关闭设于排气路之阀时,没有因此产生泄漏之虞,且可减轻维护作业之负担。于连接在反应管1之排气管3设有不透气地关闭排气管之闸阀4。于闸阀内之阀座及阀体分别从沿着周方向装设之喷射口,将净化气体喷射到阀座和阀体之间隙。藉此,阻止处理气体产生之异物附着在面向阀座和阀体之间隙的阀座及阀体表面,而闸阀之密封性提高。
申请公布号
TWI366874
申请公布日期
2012.06.21
申请号
TW093119647
申请日期
2004.06.30
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
松浦广行
分类号
H01L21/31;F16K51/00
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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