用于制造具有微透镜之影像感测器的方法

摘要

本发明系有关一种用于制造无微透镜的方法。该方法包含下列步骤：于基板上淀积一无机材料层；于该无机材料层上形成一半球形光阻图案；以及执行覆盖(blanket)回蚀处理以便因此形成一半球形无机微透镜。