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发明名称
除去感光性组成物用液
摘要
本发明系提供一种具有优异的除去感光性组成物性能之除去感光性组成物用液。该除去感光性组成物用液,系用以除去含有颜料的感光性组成物,其为含有烷二醇单烷醚类与芳香族烃类,以及依期望选自烷二醇单烷醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类、脂环式酮类与乙酸酯类所成群的至少1种的溶剂。
申请公布号
TWI366748
申请公布日期
2012.06.21
申请号
TW095101777
申请日期
2006.01.17
申请人
昭和电工股份有限公司 日本
发明人
金田昌人;三河泰广;寺尾浩一
分类号
G03F7/42;G02B5/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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