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发明名称
冷却装置及使用该冷却装置之热处理装置
摘要
本发明之热处理装置(50)具有遮盖处理容器(56)及加热器(100)之冷却筒。冷却筒具有筒状的基体构件(110)、及呈螺旋状卷绕在该外周面之冷却管(112)。冷却管(112)则是焊接于基体构件(110)。
申请公布号
TWI366655
申请公布日期
2012.06.21
申请号
TW097144136
申请日期
2003.02.27
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
斋藤孝规;山贺健一
分类号
F27B5/06;F27B5/14;H01L21/20
主分类号
F27B5/06
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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