发明名称 冷却装置及使用该冷却装置之热处理装置
摘要 本发明之热处理装置(50)具有遮盖处理容器(56)及加热器(100)之冷却筒。冷却筒具有筒状的基体构件(110)、及呈螺旋状卷绕在该外周面之冷却管(112)。冷却管(112)则是焊接于基体构件(110)。
申请公布号 TWI366655 申请公布日期 2012.06.21
申请号 TW097144136 申请日期 2003.02.27
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 斋藤孝规;山贺健一
分类号 F27B5/06;F27B5/14;H01L21/20 主分类号 F27B5/06
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本