| 摘要 |
本发明的可变狭缝装置可轻易形成所需形状与大小之四角形状孔部，具备有：第1狭缝机构、第1驱动机构、第2狭缝机构、第2驱动机构、区域设定手段、及控制手段；该第1狭缝机构沿雷射光光轴的垂直面可变狭缝宽度地形成第1狭缝；该第1驱动机构以雷射光光轴为中心而旋转第1狭缝机构；该第2狭缝机构沿雷射光光轴的垂直面，可变狭缝宽度地形成与第1狭缝交叉之第2狭缝；该第2驱动机构以雷射光光轴为中心而旋转第2狭缝机构；该区域设定手段在雷射光光轴的垂直面上设定既定区域；该控制手段分别控制第1狭缝机构、第1驱动机构、第2狭缝机构及第2驱动机构，使第1狭缝与第2狭缝的重叠区域不超出由区域设定手段所设定之区域。 |
