| 摘要 |
于使用有过硫酸之清洗装置中提供一种清洗装置，充分提高过硫酸浓度从而提高清洗效果，并且可持续清洗。本发明并提供一种将过硫酸供应至清洗装置之供应装置。本发明之一种构成为具有电解反应槽10，该电解反应槽10藉由电解反应，而自包含于溶液中之硫酸离子生成过硫酸离子并再生过硫酸溶液，以及循环管路4、5、6，该循环管路4、5、6于清洗槽1与电触反应槽10之间，使过硫酸溶液循环。本发明藉由该构成获得供应装置。并藉由该构成以及将过硫酸溶液2作为清洗液而清洗被清洗材料30之清洗槽1构成清洗系统。本发明可反覆利用硫酸溶液并藉由电解反应装置当场再生过硫酸溶液而使用于清洗。 |
