电子元件制造流出物之环境空气减弱设备与方法

摘要

本发明提供一种减弱系统，其包含：1)一减弱单元，适于减弱流出物；以及2)一环境空气供应系统，包含有一空气移动装置，其中该环境空气供应系统系适于供应环境空气至该减弱单元以用做为一氧化剂。本发明亦提供多种其他实施态样。