Sensorvorrichtung

摘要

Eine Sensorvorrichtung (100) weist ein Trägersubstrat (10) auf, das eine Partikelmessstruktur (P), eine Heizelementstruktur (H) und eine Temperaturmessstruktur (T) umfasst. Die Temperaturmessstruktur (T) ist in einem vorgegebenen ersten Bereich des Trägersubstrats (10) mit der Heizelementstruktur (H) und/oder in einem vorgegeben zweiten Bereich des Trägersubstrats (10) mit der Partikelmessstruktur (P) elektrisch gekoppelt.