发明名称 Procédé de production de structures cristallines
摘要
申请公布号 FR1382185(A) 申请公布日期 1964.12.18
申请号 FR19630949547 申请日期 1963.10.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C16/04;H01L21/00 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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