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Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmessgeräts (1) mit einer Mehrzahl zur Positionierung eines Tastkopfs (50) motorisch antreibbarer Achsen, wobei das Koordinatenmessgerät (1) in mindestens einer Achse bewegt wird, eine Verformung des Koordinatenmessgeräts gemessen wird, eine durch die Verformung verursachte Abweichung einer Istposition von einer Sollposition ermittelt wird und ein Antrieb der mindestens einen Achse des Koordinatenmessgeräts zur Kompensation der Abweichung angesteuert wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Verformung des Koordinatenmessgeräts kontinuierlich gemessen wird, dass zur Kompensation eines niederfrequenten Anteils der durch die Verformung verursachten Abweichung der Istposition von der Sollposition ein Antrieb der mindestens einen Achse des Koordinatenmessgeräts angesteuert wird und dass zur Korrektur eines höherfrequenten Anteils der Abweichung eine rechnerische Korrektur von gemessenen Koordinatenwerten von Messpunkten erfolgt.
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