Vorrichtung für einen Strahl geladener Teichen und Abbildungsanzeigeverfahren

摘要

Bei der vorliegenden Erfindung wird bei einer Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen mit einer Quelle für geladene Teilchen, einer Objektivlinse zum Fokussieren eines primären Strahls geladener Teilchen, der von der der Quelle für geladene Teilchen emittiert wird, einem Abtastdeflektor zum Abtasten einer Probe mit dem primären Strahl geladener Teilchen und einem Detektor zum Erfassen von Signalteilchen, die beim Abtasten der Probe mit dem primären Strahl geladener Teilchen erzeugt werden, unter Verwendung der vom Detektor erfaßten Signalteilchen eine Abbildung der Probe erhalten, wobei die Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen einen Deflektor zum Auslenken des Einfallswinkels des primären Strahls geladener Teilchen auf die Probe, eine erste und eine zweite unabhängige Stromversorgung zum Zuführen von Strom zum Deflektor und einen Schalter zum Umschalten der von den beiden Stromversorgungen zugeführten Spannungen pro Zeile oder pro Einzelbild beim Abtasten mit dem primären Strahl geladener Teilchen umfaßt.