HOLDING DEVICE FOR HOLDING AND MOUNTING A WAFER

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme und Halterung eines Wafers zur Bearbeitung des Wafers mit einer Halterungsfläche zur Aufnahme des Wafers an einer Auflagefläche des Wafers und Haltemitteln zur Halterung des Wafers, wobei durch die Haltemittel eine Halterung von extrem dünnen Wafern an der Halterungsfläche des Wafers möglichst geringe lokale Verzerrungen des Wafers erreicht werden.