Halbleiterbauelement mit selbstjustierten Kontaktbalken und Metallleitungen mit vergrößerten Aufnahmegebieten für Kontaktdurchführungen

摘要

Bei der Herstellung von Metallleitungen der Metallebene 0 wird eine reduzierte Unterseitenbreite und eine größere Oberseitenbreite erreicht, indem geeignete Strukturierungsschemata eingesetzt werden, beispielsweise unter Anwendung einer Abstandshalterstruktur nach der Herstellung eines oberen Grabenbereichs mit einer Oberseitenbreite, oder durch Ausbilden des unteren Bereichs der Gräben und durch nachfolgendes Anwenden einer weiteren Maske und eines Ätzschemas, in welchem die Oberseitenbreite eingerichtet wird. Auf diese Weise können Metallleitungen mit einer Verbindung zu selbstjustierten Kontaktbalken so vorgesehen werden, dass diese Metallleitungen eine Unterseitenbreite von 20 nm oder weniger besitzen, während die Oberseitenbreite ein zuverlässiges Kontaktieren mittels Kontaktdurchführungen des Metallisierungssystems erlaubt.