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经营范围
发明名称
Heat treatment equipment for substrate
摘要
申请公布号
KR200461003(Y1)
申请公布日期
2012.06.21
申请号
KR20070019224U
申请日期
2007.11.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/687;H01L21/02
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
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