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Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtung zur Anregung einer kurzwellige Strahlung emittierenden gasentladungsbasierten Strahlungsquelle. Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Erzeugung kurzwelliger Strahlung mittels Strahlungsquellen auf Basis eines gasentladungserzeugten Plasmas zu finden, bei der die gegenüber der Impulsperiode unzureichende Emissionsdauer des Plasmas verbessert wird, wird erfindungsgemäßgelöst, indem zwischen zwei in einer Vakuumkammer (1) angeordneten Elektroden (2) ein Emittent durch impulsförmige Ströme ionisiert und komprimiert zu einem emittierenden Plasma (3) angeregt wird, wobei, das Plasma (3) mittels einer hochfrequenten Sequenz impulsförmiger Ströme so aufrechterhalten wird, dass eine Impulsfolgeperiode der impulsförmigen Ströme kürzer eingestellt wird als eine Lebensdauer des Plasmas (3), sodass das Plasma (3) periodisch wechselnd zwischen einem energiereichen Zustand eines emittierenden komprimierten Plasmas (31) und einem energiearmen Zustand eines relaxierenden Plasmas (32) gehalten wird, wobei für eine Anregung des relaxierenden Plasmas (32) zur Erzeugung des komprimierten Plasmas (31) eine Anregungsenergie in das relaxierende Plasma (32) eingekoppelt wird, indem die impulsförmigen Ströme Impulsfolgefrequenzen (f) zwischen 50 kHz und 4 MHz mit Impulsbreiten, die gleich der Impulsfolgeperiode sind, verwendet werden.
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