对聚焦光学系统聚焦光斑尺寸测量的装置及其使用方法

摘要

本发明属于聚焦光斑精密测量技术领域，具体涉及一种对聚焦光学系统聚焦光斑尺寸测量的装置及其使用方法，包括准直激光光源、反射与透射切换单元、分光镜、聚光镜、光功率探测器、第一直线运动单元、第二直线运动单元、双缝、聚焦透镜、CCD相机、计算机，其中准直激光光源、分光镜、反射与透射切换单元、双缝、聚焦透镜、CCD相机共光路依次设置，反射与透射切换单元设置于第一直线运动单元上,双缝和聚焦透镜设置于第二直线运动单元上,所述分光镜的反射光路上依次设置有聚光镜和光功率探测器，光功率探测器、直线运动单元、第二直线运动单元、CCD相机均与计算机连接，通过一定的使用方法以克服现有技术不能用于对聚焦光斑的尺度进行分析测量的问题。

主权项

一种对聚焦光学系统聚焦光斑尺寸测量的装置，其特征在于：包括准直激光光源（1）、反射与透射切换单元（2）、分光镜（3）、聚光镜（4）、光功率探测器（5）、第一直线运动单元（6）、第二直线运动单元（7）、双缝（9）、聚焦透镜（10）、CCD相机（11）、计算机（12），其中准直激光光源（1）、分光镜（3）、反射与透射切换单元（2）、双缝（9）、聚焦透镜（10）、CCD相机（11）共光路依次设置，反射与透射切换单元（2）设置于第一直线运动单元（6）上, 双缝（9）和聚焦透镜（10）设置于第二直线运动单元（7）上, 所述分光镜（3）的反射光路上依次设置有聚光镜（4）和光功率探测器（5），光功率探测器（5）、直线运动单元（6）、第二直线运动单元（7）、CCD相机（11）均与计算机（12）连接。