发明名称 OXIDE SEMICONDUCTOR MATERIAL, METHOD FOR MANUFACTURING OXIDE SEMICONDUCTOR MATERIAL, ELECTRONIC DEVICE AND FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP2219225(B1) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 EP20080850158 申请日期 2008.11.12
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 HASEGAWA, AKIRA;KOHIRO, KENJI;FUKUHARA, NOBORU
分类号 H01L29/786;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/02;H01L29/26 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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