发明名称 СПОСОБ СОЗДАНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ОКСИДА КРЕМНИЯ
摘要
申请公布号 RU1371456(C) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 SU19864054773 申请日期 1986.02.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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