УСТАНОВКА ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ,申请号SU19853882300-传众专利搜索

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发明名称	УСТАНОВКА ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ
摘要
申请公布号	RU1292601(C)	申请公布日期	2012.06.20
申请号	SU19853882300	申请日期	1985.04.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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