对准标记的对准扫描方法

摘要

一种对准标记的对准扫描方法，具体步骤如下：步骤1.对准操作与管理模块下发扫描参数到信号采集与处理模块和位置采集与运动控制模块；步骤2.位置采集与运动控制模块根据扫描参数和运动台性能指标，规划运动轨迹，包括扫描各子光栅时的扫描轨迹和连接不同扫描轨迹的过渡轨迹，并与对准操作与管理模块达成一致，完成同步谈判；步骤3.运动台就位，并按照规划好的运动轨迹，在位置采集与运动控制模块控制下进行运动；步骤4.位置采集与运动控制模块采集用以对准的位置信息，并传输到对准操作与管理模块；同时，信号采集与处理模块采集光强信号，并传输到对准操作与管理模块；步骤5.对准操作与管理模块根据多个标记子光栅的光强信号和位置信息，计算标记的对准位置。

主权项

一种对准标记的对准扫描方法，具体步骤如下：步骤1.对准操作与管理模块下发扫描参数到信号采集与处理模块和位置采集与运动控制模块；步骤2.位置采集与运动控制模块根据扫描参数和运动台性能指标，规划运动轨迹，包括扫描各标记子光栅时的扫描轨迹和连接不同扫描轨迹的过渡轨迹，并与对准操作与管理模块达成一致，完成同步谈判；步骤3.运动台就位，并按照规划好的运动轨迹，在位置采集与运动控制模块控制下进行运动；步骤4.位置采集与运动控制模块采集用以对准的位置信息，并传输到对准操作与管理模块；同时，信号采集与处理模块采集光强信号，并传输到对准操作与管理模块；步骤5.对准操作与管理模块根据多个标记子光栅的光强信号和位置信息，计算标记的对准位置，其中所述标记子光栅为标记的各个分支。