偏振镜的加工方法及其在偏振敏感的光传感器和起偏显像装置上的应用

摘要

本发明涉及用于加工偏振敏感的或偏振的滤镜的方法及其在用于测量入射光偏振的偏振敏感的光传感器上的应用，还涉及用于测量旋转角和强的电场或磁场的偏振敏感传感器的设计方式以及用于还原偏振信号或再现独立信号的起偏显像装置和起偏显像装置的设计方式。

主权项

一种测量光偏振的装置，其特征在于，‑设有至少两个偏振敏感的传感器，其中所述至少两个传感器具有不同的偏振面方向，‑具有从偏振敏感的传感器信号产生关于入射光偏振的结论的装置，‑所述偏振敏感的传感器具有偏振镜(102)，这些偏振镜具有期望的扩展和定向，并且处于同一光学平面内，‑一个预定的偏振敏感的传感器的偏振面以给定的角度相对于所述装置的确定基准轴调整，‑借助于在所述装置的外壳上的标记使基准轴可识别，‑所述偏振镜(102)是通过如下方式制成：在传感器(105)上通过光刻方法在多个加工平面和/或布线平面中产生厚度小于待测量的波长且间距小于待测量波长的平行的纵向延伸的光栅结构(102)，该光栅结构的几何结构和定向事先通过掩膜数据图纸确定，其中只使用在设计集成电路时常见的结构参数和加工步骤。