一种超净高纯盐酸的制备工艺

摘要

本发明涉及一种超净高纯盐酸连续制备的工艺，所述工艺包括以下步骤：(a)将工业氯化氢气体依次通入分离器、吸附塔、过滤器进行预处理；(b)通入自动加注特效络合剂的高效复合湿式洗涤塔对氯化氢气体洗涤；(c)得到的纯净氯化氢气体通入疏水型气液分离器除去夹带的微小液滴；(d)纯净氯化氢气体通入吸收塔用稀盐酸吸收，吸收塔内盐酸达到要求浓度时送入中间产品储罐储存；(e)所得中间产品在0.3-0.5MPa压力下经超滤膜过滤后得到目标产品，本发明所得超净高纯盐酸产品单个金属阳离子杂质含量低于0.05ppb，单个阴离子杂质含量低于10ppb，大于0.5μm的颗粒低于2个/毫升，各项指标均达到或超过SEMI C12标准。与现有技术相比，本发明工艺简便、安全可靠，设备结构紧凑，低能耗，同时生产无三废排放，满足环保要求，适合大规模工艺化生产。

主权项

一种超净高纯盐酸的制备工艺，其特征在于，该工艺包括以下步骤：(a)将工业氯化氢气体依次通入分离器(1)、吸附塔(2)、过滤器(3)进行预处理；(b)将经步骤(a)预处理后的氯化氢气体通入洗涤塔(4)对氯化氢气体洗涤；(c)得到的纯净氯化氢气体通入疏水型气液分离器(5)除去夹带的微小液滴；(d)将步骤(c)得到的氯化氢气体通入吸收塔(6)用稀盐酸吸收，吸收塔内盐酸达到要求浓度时即为中间产品，将该中间产品送入中间产品储罐储存(7)；(e)所得中间产品在0.3‑0.5Mpa压力下经超滤膜过滤后得到目标产品。