垂直炉管

摘要

本实用新型公开了一种垂直炉管，包括晶舟、保温桶和石英基座，所述石英基座设置于所述保温桶内，所述晶舟安装于所述保温桶上方，所述保温桶的顶部设有开口，所述晶舟的底部设有通孔，还包括一用于封闭所述保温桶的开口的挡板，所述挡板设置于所述保温桶内部且所述挡板位于所述石英基座的上方。本实用新型提供的垂直炉管，结构简单，使用方便，通过在所述保温桶内部设置一块用于封闭所述保温桶的开口的挡板，可以防止石英基座表面的多晶硅薄膜被气流经所述保温桶的开口带入晶舟的底部区域，从而防止晶舟底部的颗粒物质超标，确保产品良率。

主权项

一种垂直炉管，包括晶舟、保温桶和石英基座，所述石英基座设置于所述保温桶内，所述晶舟安装于所述保温桶上方，所述保温桶的顶部设有开口，所述晶舟的底部设有通孔，其特征在于，还包括一用于封闭所述保温桶的开口的挡板，所述挡板设置于所述保温桶内部且所述挡板位于所述石英基座的上方。