外延设备的工艺管路系统

摘要

本实用新型公开了一种外延设备的工艺管路系统，包括内侧气流分配器、外侧气流分配器，工艺气体进气管分别连接内侧气流分配器、外侧气流分配器；所述内侧气流分配器通过两个相互并联的内侧气流管路分别连接内侧喷嘴，所述外侧气流分配器通过两个相互并联的外侧气流管路分别连接外侧喷嘴；所述两个内侧气流管路分别设置有气流调节阀。本实用新型能够实现对片子1/2至片子中心处的气流分布的调节，实现了对片子部分区域的气流可调性，从而能够改善外延设备的外延膜厚均匀性，调节片子1/2至片子中心处的膜厚分布。

主权项

一种外延设备的工艺管路系统，包括内侧气流分配器、外侧气流分配器，工艺气体进气管分别连接内侧气流分配器、外侧气流分配器；其特征在于：所述内侧气流分配器通过两个相互并联的内侧气流管路分别连接内侧喷嘴，所述外侧气流分配器通过两个相互并联的外侧气流管路分别连接外侧喷嘴；所述两个内侧气流管路分别设置有气流调节阀。