快速控制静电吸盘温度的装置及方法

摘要

一种控制静电吸盘温度的装置，包括：中心区域与边缘区域各设置有热交换通道的静电吸盘；用于向中心区域的热交换通道供应冷却液的中心区域冷却液供应管道；用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液的边缘区域冷却液供应管道；多个冷却装置；将上述多个冷却装置连接到中心区域和边缘区域的冷却液供应管道的切换装置或按比例切换装置，对应地，以选择性地将冷却装置中流过的冷却液全部供给中心区域的热交换通道或边缘区域的热交换通道，或按比例将冷却装置中流过的冷却液供给中心区域的热交换通道与边缘区域的热交换通道。本发明还提供一种控制静电吸盘温度的方法。采用本发明的技术方案，可以快度控制静电吸盘的温度。

主权项

一种控制静电吸盘温度的装置，包括：静电吸盘，所述静电吸盘的中心区域与边缘区域各设置有热交换通道；中心区域冷却液供应管道，用于向中心区域的热交换通道供应冷却液；边缘区域冷却液供应管道，用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液；其特征在于，所述控制静电吸盘温度的装置还包括多个冷却装置，所述多个冷却装置通过切换装置连接到所述中心区域和边缘区域的冷却液供应管道，通过切换装置的切换以选择性地将所述多个冷却装置与中心区域或边缘区域的冷却液供应管道相连通，使静电吸盘中热交换通道内的热量通过冷却液被带到冷却装置。