一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台

摘要

本实用新型涉及场发射半裸磁扫描电镜用样品台，可有效解决用以观察带磁性的固体块状试样，并且试样台能够同时放置多个小尺寸试样或单个大尺寸试样，提高扫描电镜的工作效率和减小试样的制备难度的问题，其解决的技术方案是，包括有台体和固定头，台体上面有腔体，台体垂直的侧壁上有与腔体连通的固定孔，固定孔内装有固定体，台体下部中心处有固定头，本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用简单方便，安全，适用于各种场发射扫描电镜，通过试样台的样品固定装置，可实现对带磁性块状试样的牢固固定，避免了试样在物镜磁场下被吸附到物镜下极靴造成物镜物理损坏的危险，通过将试样台的装载空腔改制成四个圆柱体空腔或一个长方体空腔，以实现对多个小尺寸试样或单个大尺寸试样的装载，提高了扫描电镜的工作效率和减小了试样的制备难度。

主权项

一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台，包括有台体和固定头，其特征在于，台体（5）上面有腔体（1），台体垂直的侧壁上有与腔体连通的固定孔（2），固定孔内装有固定体（3），台体下部中心处有固定头（4）。