精密平面研磨机

摘要

本实用新型公开一种精密平面研磨机，包括研磨圆盘、旋转研磨圆盘的主电机及修平研磨圆盘工作面的修面机构；修面机构包括副电机、修面刀具及控制机构，修面刀具以能相对研磨圆盘径向移动的方式安装在副电机的转轴上；控制机构包括研磨圆盘传感器、修面刀具传感器、比较单元和驱动单元；研磨圆盘传感器和修面刀具传感器的检测端分别对应研磨圆盘和修面刀具设置，研磨圆盘传感器和修面刀具传感器的输出端分别与比较单元的相应输入端电连接，比较单元的输出端与研磨圆盘驱动单元的输入端电连接，驱动单元的输出端分别与主电机和副电机对应电连接。本实用新型能使研磨圆盘在恒定线速度下利用修面刀具对其工作面进行修平，达到高精度的直线度和平面度。

主权项

一种精密平面研磨机，包括研磨圆盘、用以旋转该研磨圆盘的主电机，以及用以修平该研磨圆盘的工作面的修面机构，其特征在于：所述修面机构包括副电机、修面刀具以及控制机构，该修面刀具以能相对所述研磨圆盘径向移动的方式安装在该副电机的转轴上；该控制机构包括研磨圆盘传感器、修面刀具传感器、比较单元和驱动单元；该研磨圆盘传感器的检测端对应所述研磨圆盘设置，该修面刀具传感器的检测端对应所述修面刀具设置；该研磨圆盘传感器和该修面刀具传感器的输出端分别与该比较单元的相应输入端电连接，该比较单元的输出端与该研磨圆盘驱动单元的输入端电连接，该驱动单元的输出端分别与所述主电机和所述副电机对应电连接。