一种检测大口径光学系统波前的装置

摘要

本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置，包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统，其特点在于：将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前，由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光学系统的子孔径波前，通过数控转台和数控电动位移台控制标准平面镜运动，对子孔径进行扫描，并由干涉仪检测记录子孔径波前，使检测的子孔径波前覆盖整个大口径光学系统，由计算机控制和数据处理系统通过算法将子孔径波前拼接，得到大口径光学系统全孔径波前，完成对大口径光学系统波前检测。本发明结构简单、成本低，能检测≥1000mm的大口径光学系统波前像质。

主权项

一种大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：包括干涉仪、五维调整台、标准自准直平面镜、数控电动位移台、数控转台、计算机控制和数据处理系统和二维调整台，其中：干涉仪位于五维调整台上，大口径光学系统放置于干涉仪和标准自准直平面镜中间，干涉仪发出的光经大口径光学系统到达标准自准直平面镜，沿原光路返回干涉仪形成干涉，从而对大口径光学系统此处波前子孔径进行扫描采样；标准自准直平面镜安装在二维调整台上，二维调整台垂直安装在数控电动位移台上，在数控转台的径向安装数控电动位移台；数控转台和数控电动位移台控制标准自准直平面镜运动，二维调整架用于对标准自准直平面镜进行调整，使标准自准直平面镜与干涉仪和被检的大口径光光学系统组成的准直光路。计算机控制和数据处理系统的通讯接口分别与干涉仪的通讯接口、数控电动位移台的通讯接口和电动导轨的通讯接口连接，计算机控制和数据处理系统按照子孔径规划布局控制数控电动位移台和电动导轨，并使数控电动位移台和电动导轨按子孔径规划的路径运动；数控电动位移台带动标准自准直平面镜在径向移动，在径向对大口径光学系统的子孔径扫描采样；计算机控制和数据处理系统，用于控制干涉仪对子孔径数据采样，并根据子孔径拼接算法对子孔径数据进行拼接，得到大口径光学系统的波前子孔径。